簡(jiǎn)述精密位移平臺(tái)在機(jī)床設(shè)備領(lǐng)域的應(yīng)用與發(fā)展

添加時(shí)間：2020-6-9 9:20:26 作者：浙江金科機(jī)械傳動(dòng)有限公司

   精密位移平臺(tái)與超精密加工的機(jī)床設(shè)備也隨著加工精度的提高和該項(xiàng)技術(shù)的發(fā)展，機(jī)床本身的精度也在不斷的提高，精密位移平臺(tái)和超精密機(jī)床也獲得了相應(yīng)的發(fā)展。目前能代表超精密機(jī)床最高水平的機(jī)床主要有union carbide公司的半球車(chē)床，moore車(chē)床，ex-cell-o公司的2m鏡面立式車(chē)床，精密位移平臺(tái)公司的msg-325型超精密車(chē)床以及美國(guó)lll實(shí)驗(yàn)室dtm-3型大型超精密車(chē)床等。

   超精密精密位移平臺(tái)的主軸部件目前所使用的主要有：液體靜壓軸承主軸、空氣式靜壓主軸兩種目前主要采用空氣軸承主軸。主軸和軸承的材料選取，對(duì)精密位移平臺(tái)的精度和性能有重要影響。精密位移平臺(tái)制造空氣主軸的材料有

1）軸和軸套都用38crmoal氮化鋼，經(jīng)表面氮化和低溫穩(wěn)定處理；
2）不銹鋼制造；
3）多孔石墨和軸承鋼以及銦鋼和花崗巖、微晶玻璃、陶瓷。