精密手動(dòng)位移平臺(tái)由實(shí)驗(yàn)可知,pzt所受預(yù)緊力(f)越大,工作臺(tái)剛度(δi)越高,關(guān)系曲線(xiàn)如圖8所示。由有限元分析可得,隨著f的增加,固有頻率逐漸增大。在給微動(dòng)臺(tái)x向施加10μm的位移載荷時(shí),固有頻率從737 hz增加到1 973 hz,即f對(duì)微動(dòng)臺(tái)的固有頻率起著決定性的影響。通過(guò)實(shí)驗(yàn)和有限元分析可知,微動(dòng)臺(tái)的固有頻率和δi隨著f的增加而增大。
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